研究者学術情報データベース

（最終更新日 : 2021-03-31 20:04:17）　

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スギヤマ　ススム
杉山　進
SUGIYAMA Susumu

所属総合科学技術研究機構

職名上席研究員

その他所属
1.	総合科学技術研究機構ＳＲセンター

学歴
1.	1994/05 (学位取得)	東京工業大学博士(工学)
2.		東京工業大学
3.	～1970	名城大学理工学部電気工学

職歴
1.	2008/04/01	立命館グローバルイノベーション研究機構教授
2.	2007/04/01 ～ 2008/03/31	立命館大学 COE推進機構教授
3.	1995/04/01 ～ 2007/03/31	立命館大学理工学部教授
4.	2000/12/01 ～ 2010/12/31	立命館大学ナノマシンシステム技術研究センターセンター長
5.	1998/04/01 ～ 2002/03/31	立命館大学 SRセンター副センター長
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委員会・協会等
1.	1995/05 ～ 2012	MYU K.K., Tokyo Sensors and Materials(MYU K.K., Tokyo) 編修委員長
2.	1998/04 ～ 2002/03	立命館大学SRセンター立命館大学SRセンター副センター長
3.	2000/12 ～ 2010/12	立命館大学ナノマシンシステム技術研究センター立命館大学ナノマシンシステム技術研究センター長
4.	2002/10 ～ 2007/03	文部科学省文部科学省21世紀COEプログラム拠点リーダー
5.	2007/05 ～ 2011	エレクトロニクス実装学会エレクトロニクス実装学会理事
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所属学会
1.		電気学会
2.		エレクトロニクス実装学会
3.		応用物理学会
4.		日本機械学会
5.		日本ロボット学会
全件表示（6件）

資格・免許
1.	1992	特定高圧ガス取扱主任者
2.	1970	高等学校教諭2級普通免許状

研究テーマ
1.	X線リソグラフィによる微細構造の製法に関する研究
2.	マイクロマシニングを応用した半導体センサに関する研究
3.	マイクロ電子・桟械システムに関する研究

研究概要
マイクロ・ナノマシン、センサ、集積電子機械システムセンサ、アクチュエータ、およびマイクロプロセッサをワンチップに集積し、ナノメートル精度で駆動、計測、処理を行うマイクロ・ナノシステムの実現と応用研究。

現在の専門分野
知能機械学・機械システム, 電子デバイス・電子機器, 制御工学 (キーワード：センサ工学, マイクロシステム工学, 半導体工学, 電子デバイス)

著書
1.	2011/12	「Recent Advances in Nanofabrication Techniques and Applications, Ed. by Bo Cui, Chapter 16: Fabrication of 3-D Structures Utilizing Synchrotron Radiation Lithography」 │ ,315-334
2.	2010/02	「Nanowires, Chapter15: Electronic States and Piezoresistivity in Silicon Nanowires」 │ ,297-314
3.	2009/04	「MEMS/NEMS工学全集、桑野博喜監修、第3章 MEMS/NEMSプロセス基盤技術、第10節　厚膜プロセス、1．LIGA」 │ ,490-497
4.	2009/01	「Springer Proceedings in Physics, Vol.127: Physics and Engineering of New Materials, "Design and Fabrication of a Miniaturized Three-Degree-of-Freedom Piezoresistive Acceleration Sensor Based on MEMS T echnology Using Deep Reactive Ion Etching」 │ ,377-383
5.	2003/05	「ナノテクノロジーハンドブックⅠ編　創る（第１分冊）、ナノテクノロジーハンドブック編集委員会編、5章ナノ構造の製作技術、5・3 LIGAプロセス」 │ ,197-203
全件表示（28件）

論文
1.	2013/03	Fabrication of 3-D PTFE Microstructures Utilising Change of Etching Rate with Respect to Exposure Time │ Microsystem Technologies, Vol.19, Issue 3, Mar.2013, Springer-Verlag │ 19 (3),351-356
2.	2013/03	Influence of Developer Temperature on the Shape of Structures Fabricated by Deep X-ray Lithography │ Microsystem Technologies, Vol.19, Issue 3, Mar.2013, Springer-Verlag │ 19 (3),357-362
3.	2012/11	穿刺用貫通型超音波探触子の基礎特性と針の検出原理 │ 電気学会論文誌Ｅ │ 132 (11),420-424
4.	2012/08	Highly-sensitive Fluorescence Detection and Imaging with Microfabricated Total Internal Reflection (TIR)-based Devices │ Journal of Micro-Nano Mechatronics, Springer-Verlag (2012) │ ,45-59
5.	2012/03	Development of Polymer MEMS Process Technology as an Approach to a Sustainable Production System │ Advances in Natural Sciences: Nanoscience and Nanotechnology, Vol.3, No.1, Mar. 2012, IOP Publishing Ltd. │ 3 (1),015009 (7pp)
全件表示（241件）

学会発表
1.	2014/10/30	Application of Polymer MEMS to Material Fatigue Testing （口頭発表，特別・招待講演等）
2.	2014/10/22	ピエゾ抵抗式半導体圧力センサの開発の道のり（口頭発表，一般）
3.	2014/10/21	静電容量型振動子を用いたPMMAの疲労試験（ポスター）
4.	2014/07/02	Fatigue Testing of PMMA Using Polymer MEMS Actuator Fabricated by Hot Embossing （口頭発表，一般）
5.	2013/11/14	Development of Environmental Friendly Polymer MEMS Process Technology and Its Application （口頭発表，特別・招待講演等）
全件表示（638件）

受賞学術賞
1.	2012/08	京都府知事山田啓二京都府知事より「感謝状」授与 (（京都府中小企業特別技術指導員として中小企業の技術課題の解決や研究開発の向上に尽力）)
2.	2012/05	電気学会電気学会平成24年第21回業績賞
3.	2011/05	電気学会電気学会フェローの称号を授与
4.	2009/11	（社）日本分析化学会「東京コンファレンス2009」優秀ポスター賞、（社）日本分析化学会
5.	2008/11	IEEE MHS MHS2008(IEEE) 最優秀論文賞
全件表示（12件）

科学研究費助成事業
1.	2008 ～ 2010/03	見守りモニタリングシステム用ワイヤレス超小型集積多軸MEMS加速度センサの開発 │ 奨励研究
2.	2007 ～ 2009	MEMS技術を用いた集積流体慣性センサ │ 奨励研究
3.	2002 ～ 2005	マイクロマシニングによるモバイル型マイクロエンジン発電技術の研究開発 │ 基盤研究(A)
4.	2002 ～ 2004	マイクロマシニングによるモバイル型マイクロエンジン発電技術の研究開発 │ 基盤研究(A)
5.	1996 ～ 1998	高アスペクト比X線リソグラフィによる高出力マイクロアクチュエータ │ 基盤研究(B)

競争的資金等(科研費を除く)
1.	2010 ～ 2010	ポリマーMEMSデバイスの製作技術開発 │ 競争的資金等の外部資金による研究 │ 文部科学省・地域イノベーションクラスタープログラム
2.	2010 ～ 2010	京都環境ナノクラスター │ 競争的資金等の外部資金による研究 │ 文部科学省・地域産学官連携科学技術振興事業費補助事業イノベーションシステム整備事業地域イノベーションクラスタープログラム（グローバル型）

共同・受託研究実績
1.	2010/11 ～ 2011/06	SR光リソグラフィーによる三次元微細構造の製法開発 │ 受託研究
2.	2010/10 ～ 2011/03	ホットエンボス法により成型したポリマーMEMSの事業化展開に関する調査 │ 受託研究

取得特許
1.		Sensor （米国出願番号09/046953）
2.		ﾏｲｸﾛ･ｺﾈｸﾀ及びこれを用いる嵌合判定方法（2002-246117）
3.		Ｘ線を用いた材料の加工方法及びその装置（特願2000－347103）
4.		Ｘ線マスク及びその製造方法（特願2000－344848）
5.		Ｘ線露光用レジスト基板及びその製造方法、該レジスト基板を用いた金型の製造方法並びに該金型を用いたマイクロ部品の製造方法（2000-206696）
全件表示（57件）

研究高度化推進制度
1.	2011/10 2012/03	研究支援制度分類：研究の国際化推進プログラム種目：- アジアの大学研究機関との国際交流協定に基づくマイクロ・ナノマシンシステム技術研究に関する研究交流の実施・促進
2.	2011/04 2012/03	研究支援制度分類：専門研究員プログラム種目：- シンクロトロン放射光を用いた三次元微細構造体作製とその応用に関する研究
3.	2010/09 2011/03	研究支援制度分類：研究の国際化推進プログラム種目：研究成果の国際的発信強化アジアおよび東ヨーロッパの大学研究機関との国際交流協定に基づくマイクロ・ナノマシンシステム技術研究に関する研究交流の実施・促進
4.	2010/04 2011/03	研究支援制度分類：専門研究員プログラム種目：- シンクロトロン放射光を用いた三次元微細構造体作製とその応用に関する研究
5.	2009/04 2010/03	研究支援制度分類：研究の国際化推進プログラム種目：研究成果の国際的発信強化マイクロ・ナノマシンシステム技術研究国際ネットワークの構築
全件表示（11件）

研究者からのメッセージ
1.	マイクロ・ナノマシンシステムの実用化研究「マイクロ・ナノマシンシステム」とは、ミクロンサイズの機械要素をシリコン基板上に集積しナノメートル精度で動作する高機能デバイスであり、半導体集積回路(IC)と同じような製法で大量生産を目指しています。IC技術が産業を変革したと同じように、マイクロ・ナノマシンシステムも次世代の産業に技術革新を起こすものであると期待されています。企業に長年籍を置き、一貫して半導体物理センサの研究・開発に従事してきました。センサの研究・開発は材料探策から実用化まで、粘り強い根気の要るものであります。自動車の電子式燃料噴射システムに用いる半導体圧力センサを世に出すまでに、約10年の歳月がかかりました。マイクロ・ナノマシンチップが世に出るまでには、地道な努力と多くの歳月が必要であると考えています。伝統ある立命館大学でこの小さくて大きなテーマに挑戦できることを大いなる喜びとしております。'65年より豊田中央研究所に在籍。'95年より本学へ。映画鑑賞、バレーボール（シニア）、サッカー観戦が趣味。工博。

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マイクロ・ナノ集積デバイス研究室